半導體設備零部件，堪稱半導體行業的“心臟”。它們不僅支撐著半導體設備的穩定運行，更是推動半導體產業不斷迭代升級的關鍵力量。摩爾定律，這一引領半導體行業飛速發展的驅動力，正是通過半導體設備零部件的精密制造得以實現。

半導體制造，一個涉及數百道工序和數十種設備的復雜工程，每一道工序都如同精心編織的樂章，而半導體設備零部件則是這樂章中的音符，決定著最終產品的品質。在芯片的數百層結構中，每一層的沉積、涂膠、曝光、顯影、刻蝕、離子注入、去膠等步驟，都離不開這些精密零部件的支撐。

半導體設備零部件產業鏈，如同一座金字塔，上游是材料廠、零部件廠，中游是設備廠，下游則是晶圓廠。這些零部件，既包括設備廠生產集成模組或系統所需的硬件，也包括晶圓廠生產芯片所需的耗材。由于半導體設備廠往往采取輕資產運營模式，因此，這些精密零部件的技術水平和質量，直接決定了設備的性能。

高端芯片制造，離不開高端設備的支持，而高端設備，則離不開高精尖的零部件。這些零部件的精度、潔凈度、質量等關鍵參數，直接決定了半導體設備的性能。與普通工業設備相比，半導體設備在原材料的純度、耐腐蝕性、耐擊穿電壓性、表面光滑度、潔凈度等方面都提出了更高的要求。可以說，半導體設備的升級迭代，很大程度上依賴于其精密零部件技術的突破。

在中國大陸，晶圓制造廠正在逆勢擴產。根據IC Insight數據，2018年中國大陸晶圓制造產能約為108萬片/月（折合12英寸），約占全球總產能的13%；預計到2022年，中國大陸晶圓制造產能將達到182萬片/月（折合12英寸），約占全球總產能的17%。這一趨勢表明，中國大陸正在加大晶圓制造產能的規劃和建設，而這一切都離不開精密的半導體設備零部件的支持。截至2022年初，中國大陸已有23家12英寸晶圓廠投入生產，每月總產能約為104萬片，與2021年初相比，增長了約18%。這些晶圓廠的規劃產能為每月157萬片，顯示出仍有進一步增產的空間。展望未來，從2022年到2026年，中國大陸預計將新增25家12英寸晶圓廠，其總規劃產能將達到每月160萬片。這意味著，在未來五年內，中國大陸12英寸晶圓廠的年均新增產能將達到每月40至50萬片。據JW Insight預測，到2026年，中國大陸12英寸晶圓的總產能將躍升至每月300萬片以上，是2022年的兩倍還要多。